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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000341989| Clasificación : | 001-00388-F1-2005 |
| Sustentante: | Fandiño Armas, Jesus Eduardo |
| Asesor(es) : | Alonso Huitrón, Juan Carlos |
| Título : | Estudio de peliculas delgadas de nitruros de silicio fluorados depositadas por IC-RPECVD |
| Fecha de publicación : | 2005 |
| Páginas: | 1 recurso en línea (137 páginas) |
| Formato: | application/pdf |
| Medio: | computadora |
| Soporte: | recurso en línea |
| Grado : | Doctorado en Ciencias e Ingeniería de Materiales |
| Escuela o Facultad : | Instituto de Investigaciones en Materiales |
| Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
| URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000341989 |
| Fuente TESIUNAM: | https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000341989 |
| Aparece en las colecciones: | Tesis de doctorado |
Texto completo:
| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 000341989.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.23 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
| 0341989_A1.pdf | Texto Completo | 4.11 MB | Adobe PDF |  Visualizar/Abrir |
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