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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000341989
Clasificación : | 001-00388-F1-2005 |
Sustentante: | Fandiño Armas, Jesus Eduardo |
Asesor(es) : | Alonso Huitrón, Juan Carlos |
Título : | Estudio de peliculas delgadas de nitruros de silicio fluorados depositadas por IC-RPECVD |
Fecha de publicación : | 2005 |
Páginas: | 1 recurso en línea (137 páginas) |
Formato: | application/pdf |
Medio: | computadora |
Soporte: | recurso en línea |
Grado : | Doctorado en Ciencias e Ingeniería de Materiales |
Escuela o Facultad : | Instituto de Investigaciones en Materiales |
Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000341989 |
Fuente TESIUNAM: | https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000341989 |
Aparece en las colecciones: | Tesis de doctorado |
Texto completo:
Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
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000341989.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.23 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
0341989_A1.pdf | Texto Completo | 4.11 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |
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