1. Repositorio de Tesis DGBSDI
  2. TESIUNAM
  3. Tesis de doctorado
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Campo DC Valor Lengua/Idioma
dc.contributor.advisorAlonso Huitrón, Juan Carlos
dc.creatorFandiño Armas, Jesus Eduardo
dc.date.created2005-12-22T00:00:00-
dc.date.issued2005
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000341989-
dc.format.extent1 recurso en línea (137 páginas)
dc.format.mediumcomputadora
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.languagespa-
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.source.urihttps://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000341989
dc.subject.classificationCiencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
dc.titleEstudio de peliculas delgadas de nitruros de silicio fluorados depositadas por IC-RPECVD
dc.typeTesis de doctorado
dcterms.contributorAlonso Huitrón, Juan Carlos::si::SinIdentificador::role::asesorTesis
dcterms.creatorFandiño Armas, Jesus Eduardo::si::SinIdentificador
dc.degree.nameDoctorado en Ciencias e Ingeniería de Materiales
dc.degree.grantorUniversidad Nacional Autónoma de México
dc.identifier.urlhttp://132.248.9.195/ptb2005/00388/0341989/Index.html
dc.format.supportrecurso en línea
dc.degree.departmentInstituto de Investigaciones en Materiales
dc.identifier.classification001-00388-F1-2005
dc.degree.levelDoctorado
dc.rights.accessrightsAcceso en línea sin restricciones
dc.type.versionpublishedVersion
dc.publisher.locationMX
dc.date.modified2023-11-25T00:00:00-
Aparece en las colecciones: Tesis de doctorado

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