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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000279049| Clasificación : | 001-00323-R2-1999-1 |
| Sustentante: | Ramirez Vargas, Sergio Julio |
| Asesor(es) : | Alonso Huitrón, Juan Carlos |
| Título : | Preparacion de peliculas delgadas de SIO2 con altas tasas de deposito, mediante la tecnica de deposito de vapores quimicos asistido por un plasma remoto inductivo |
| Fecha de publicación : | 1999 |
| Páginas: | 1 recurso en línea (II, 52 páginas) : |
| Formato: | application/pdf |
| Medio: | computadora |
| Soporte: | recurso en línea |
| Grado : | Licenciatura en Física |
| Escuela o Facultad : | Facultad de Ciencias |
| Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Palabras clave : | Vapores |
| Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
| URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000279049 |
| Fuente TESIUNAM: | http://132.248.9.195/pd1999/279049/Index.html |
| Aparece en las colecciones: | Tesis de licenciatura |
Texto completo:
| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 000279049.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.19 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
| 279049.pdf | Texto Completo | 1.14 MB | Adobe PDF |  Visualizar/Abrir |
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