1. Repositorio de Tesis DGBSDI
  2. TESIUNAM
  3. Tesis de licenciatura
Use el DOI o este identificador para enlazar este recurso: https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000809230
Registro completo de metadatos
Campo DC Valor Lengua/Idioma
dc.contributor.advisorSanginés de Castro, Roberto
dc.creatorSoto Valle Angulo, Genaro
dc.date.created2021-02-17T00:00:00-
dc.date.issued2020
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000809230-
dc.format.extent1 recurso en línea (100 páginas)-
dc.format.mediumcomputadora
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.languagespa-
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.source.urihttps://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000809230
dc.subject.classificationCiencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
dc.titleOptimización del proceso de pulverización catódica reactiva por espectroscopía de emisión óptica del plasma : estudio de Si3N4
dc.typeTesis de licenciatura
dcterms.contributorSanginés de Castro, Roberto::si::SinIdentificador::role::asesorTesis
dcterms.creatorSoto Valle Angulo, Genaro::si::SinIdentificador
dc.degree.nameLicenciatura en Nanotecnología
dc.degree.grantorUniversidad Nacional Autónoma de México
dc.identifier.urlhttp://132.248.9.195/ptd2021/febrero/0809230/Index.html
dc.format.supportrecurso en línea
dc.degree.departmentCentro de Nanociencias y Nanotecnología
dc.degree.levelLicenciatura
dc.rights.accessrightsAcceso en línea sin restricciones
dc.type.versionpublishedVersion
dc.publisher.locationMX
dc.date.modified2023-11-25T00:00:00-
Aparece en las colecciones: Tesis de licenciatura

Texto completo:
Archivo Descripción Tamaño Formato  
000809230.mrcRegistro bibliográfico en formato MARC1.35 kBMARCVisualizar/Abrir
Mostrar el registro sencillo del recurso


Este recurso está sujeto a una Licencia Creative Commons Creative Commons