Use el DOI o este identificador para enlazar este recurso: https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000306293
Clasificación : 001-00323-V1-2002-3
Sustentante: Vazquez Arreguin, Roberto
Asesor(es) : Alonso Huitrón, Juan Carlos
Título : El papel del hidrogeno en las propiedades fisicas de peliculas de Si O2 depositadas por RPECVD
Fecha de publicación : 2002
Páginas: 37 páginas
Formato: application/pdf
Medio: computadora
Soporte: recurso en línea
Grado : Licenciatura en Física
Escuela o Facultad : Facultad de Ciencias
Institución : Universidad Nacional Autónoma de México
Area del conocimiento : Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
URI : https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000306293
Fuente TESIUNAM: https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000306293
Aparece en las colecciones: Tesis de licenciatura

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