Preparacion de peliculas delgadas de SIO2 con altas tasas de deposito, mediante la tecnica de deposito de vapores quimicos asistido por un plasma remoto inductivo

Archivos

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Fecha de publicación

Autores

Ramirez Vargas, Sergio Julio

Asesores

Alonso Huitrón, Juan Carlos

Colecciones

Tesis de licenciatura

Institución

Universidad Nacional Autónoma de México

Escuela o Facultad

Facultad de Ciencias

Área del conocimiento

Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías

Título o grado

Licenciatura en Física

Palabras clave

Fuente

URI

https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000279049

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