Dispositivo mems térmico con proceso metal mumps

Archivos

Iniciar lectura
0628032.pdf (3.07 MB)

Fecha de publicación

Autores

Díaz Castro, Ricardo

Asesores

Martynyuk, Oleksander

Colecciones

Tesis de maestría

Institución

Universidad Nacional Autónoma de México

Escuela o Facultad

Facultad de Ingeniería

Área del conocimiento

Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías

Título o grado

Maestría en Ingeniería (Ingeniería Eléctrica)

Palabras clave

Sistemas microelectricomecánicos, Simulación por computadora, Dispositivos, Conmutadores eléctricos

Fuente

URI

https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000628032

Página completa del ítem