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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000703425| Sustentante: | Castillo Flores, Fernando |
| Asesor(es) : | Santana Rodríguez, Guillermo |
| Título : | Estudio de las propiedades ópticas y la estabilidad química de películas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrógeno y la potencia del plasma |
| Fecha de publicación : | 2013 |
| Páginas: | 1 recurso en línea (75 páginas) : |
| Formato: | application/pdf |
| Medio: | computadora |
| Soporte: | recurso en línea |
| Grado : | Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales |
| Escuela o Facultad : | Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales |
| Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
| URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000703425 |
| Fuente TESIUNAM: | http://132.248.9.195/ptd2013/octubre/0703425/Index.html |
| Aparece en las colecciones: | Tesis de maestría |
Texto completo:
| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 000703425.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.46 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
| 0703425.pdf | Texto Completo | 13.16 MB | Adobe PDF |  Visualizar/Abrir |
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