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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000751547
Sustentante: | Salazar Hernández, Jenifer |
Asesor(es) : | Monroy Peláez, Betsabee Marel |
Título : | Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3 |
Fecha de publicación : | 2016 |
Páginas: | 1 recurso en línea (94 páginas) |
Formato: | application/pdf |
Medio: | computadora |
Soporte: | recurso en línea |
Grado : | Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales |
Escuela o Facultad : | Programa de Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales |
Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000751547 |
Fuente TESIUNAM: | https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000751547 |
Aparece en las colecciones: | Tesis de maestría |
Texto completo:
Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
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000751547.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.46 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
0751547.pdf | Texto Completo | 19.33 MB | Adobe PDF | ![]() Visualizar/Abrir |
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