Use el DOI o este identificador para enlazar este recurso: https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000735424
Sustentante: Serrano Núñez, Mario Alberto
Asesor(es) : Alonso Huitrón, Juan Carlos
Título : Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd
Fecha de publicación : 2015
Páginas: 1 recurso en línea (59 páginas) :
Formato: application/pdf
Medio: computadora
Soporte: recurso en línea
Grado : Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales
Escuela o Facultad : Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales
Institución : Universidad Nacional Autónoma de México
Area del conocimiento : Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
URI : https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000735424
Fuente TESIUNAM: http://132.248.9.195/ptd2015/septiembre/0735424/Index.html
Aparece en las colecciones: Tesis de maestría

Texto completo:
Archivo Descripción Tamaño Formato  
000735424.mrcRegistro bibliográfico en formato MARC1.46 kBMARCVisualizar/Abrir
0735424.pdfTexto Completo1.73 MBAdobe PDFVista previa
Visualizar/Abrir


Este recurso está sujeto a una Licencia Creative Commons Creative Commons