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https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000637806| Clasificación : | 001-00347-M1-2009 |
| Sustentante: | Mendoza Ibañez, Víctor Antonio |
| Asesor(es) : | Rodil Posada, Sandra Elizabeth |
| Título : | Depósito de películas de carbono usando una fuente pulsada : efecto de la frecuencia y ancho de pulso |
| Fecha de publicación : | 2008 |
| Páginas: | 1 recurso en línea (95 páginas) : |
| Formato: | application/pdf |
| Medio: | computadora |
| Soporte: | recurso en línea |
| Grado : | Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales |
| Escuela o Facultad : | Instituto de Investigaciones en Materiales |
| Institución : | Universidad Nacional Autónoma de México |
| Palabras clave : | Magnetron sputtering Aplicación Sistemas de depósito de películas delgadas Películas delgadas de carbono |
| Area del conocimiento : | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías |
| URI : | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000637806 |
| Fuente TESIUNAM: | http://132.248.9.195/ptd2009/enero/0637806/Index.html |
| Aparece en las colecciones: | Tesis de maestría |
Texto completo:
| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 000637806.mrc | Registro bibliográfico en formato MARC | 1.4 kB | MARC | Visualizar/Abrir |
| 0637806_A1.pdf | Texto Completo | 1.34 MB | Adobe PDF |  Visualizar/Abrir |
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