Use el DOI o este identificador para enlazar este recurso: https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000628032
Clasificación : 001-01170-D1-2008
Sustentante: Díaz Castro, Ricardo
Asesor(es) : Martynyuk, Oleksander
Título : Dispositivo mems térmico con proceso metal mumps
Fecha de publicación : 2008
Páginas: 1 recurso en línea (109 páginas)
Formato: application/pdf
Medio: computadora
Soporte: recurso en línea
Grado : Maestría en Ingeniería (Ingeniería Eléctrica)
Escuela o Facultad : Facultad de Ingeniería
Institución : Universidad Nacional Autónoma de México
Palabras clave : Sistemas microelectricomecánicos
Simulación por computadora
Dispositivos
Conmutadores eléctricos
Area del conocimiento : Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
URI : https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000628032
Fuente TESIUNAM: https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000628032
Aparece en las colecciones: Tesis de maestría

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