Use el DOI o este identificador para enlazar este recurso: https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748
Clasificación : 001-00347-P1-2001-1
Sustentante: Pichardo Pedrero, Ernesto
Asesor(es) : Alonso Huitrón, Juan Carlos
Título : Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica
Fecha de publicación : 2001
Páginas: 1 recurso en línea (164 páginas en varias paginaciones)
Formato: application/pdf
Medio: computadora
Soporte: recurso en línea
Grado : Maestría en Ciencias (Ciencia de Materiales)
Escuela o Facultad : Instituto de Investigaciones en Materiales
Institución : Universidad Nacional Autónoma de México
Area del conocimiento : Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Ciencias Biológicas, Químicas y de la Salud
URI : https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748
Fuente TESIUNAM: https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000296748
Aparece en las colecciones: Tesis de maestría

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